International Standards and Conformity Assessment for all electrical, electronic and related technologies

CLC/SR 47F

Systèmes microélectromécaniques

 
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FprEN 62047-5:2010 (pr=22629)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF
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FprEN 62047-5:2011 (pr=22629)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF
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prEN 62047-6:2007 (pr=21554)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince
export to doc file  EN 2008-04-07   Procedure Result Yes
FprEN 62047-6:2009 (pr=21554)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince
export to doc file  EN 2009-03-24   Procedure Result Yes
FprEN 62047-7:2010 (pr=22658)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques
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FprEN 62047-7:2011 (pr=22658)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques
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FprEN 62047-8:2009 (pr=22628)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces
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FprEN 62047-8:2010 (pr=22628)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces
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FprEN 62047-9:2009 (pr=22644)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS
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FprEN 62047-9:2011 (pr=22644)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS
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FprEN 62047-10:2011 (pr=23075)
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
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FprEN 62047-10:2010 (pr=23075)
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
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FprEN 62047-11:2011 (pr=23953)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
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FprEN 62047-11:2013 (pr=23953)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
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FprEN 62047-12:2010 (pr=23076)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)
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FprEN 62047-12:2011 (pr=23076)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)
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FprEN 62047-13:2010 (pr=23280)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS
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FprEN 62047-13:2011 (pr=23280)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS
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FprEN 62047-14:2011 (pr=23220)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique
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FprEN 62047-14:2010 (pr=23220)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique
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FprEN 62047-17:2013 (pr=25011)
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FprEN 62047-18:2012 (pr=24073)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 18: Méthodes d’essai de flexion des matériaux en couche mince
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FprEN 62047-18:2013 (pr=24073)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 18: Méthodes d’essai de flexion des matériaux en couche mince
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FprEN 62047-19:2012 (pr=24006)
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques - Partie 19: Compas électroniques
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FprEN 62047-19:2013 (pr=24006)
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques - Partie 19: Compas électroniques
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FprEN 62047-20:2013 (pr=24671)
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FprEN 62047-21:2013 (pr=24672)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21: Méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince
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FprEN 62047-22:2013 (pr=24695)
Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 22: Méthode d'essai de traction électromécanique pour les couches minces conductrices sur des substrats souples
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Definitive Text - EN 62047-6:2010
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince
Definitive Text - EN 62047-19:2013
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques - Partie 19: Compas électroniques
Definitive Text - EN 62047-6:2010
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince
Definitive Text - EN 62047-7:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques
Definitive Text - EN 62047-7:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques
Definitive Text - EN 62047-7:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques
Definitive Text - EN 62047-5:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF
Definitive Text - EN 62047-5:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF
Definitive Text - EN 62047-5:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF
Definitive Text - EN 62047-13:2012
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS
Definitive Text - EN 62047-14:2012
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique
Definitive Text - EN 62047-14:2012
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique
Definitive Text - EN 62047-14:2012
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique
Definitive Text - EN 62047-13:2012
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS
Definitive Text - EN 62047-13:2012
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS
Definitive Text - EN 62047-8:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces
Definitive Text - EN 62047-8:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces
Definitive Text - EN 62047-8:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces
Definitive Text - EN 62047-9:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS
Definitive Text - EN 62047-9:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS
Definitive Text - EN 62047-9:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS
Definitive Text - EN 62047-10:2011
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
Definitive Text - EN 62047-10:2011
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
Definitive Text - EN 62047-10:2011
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
Definitive Text - EN 62047-12:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)
Definitive Text - EN 62047-12:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)
Definitive Text - EN 62047-12:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)
Definitive Text - EN 62047-18:2013
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 18: Méthodes d’essai de flexion des matériaux en couche mince
Definitive Text - EN 62047-18:2013
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 18: Méthodes d’essai de flexion des matériaux en couche mince
Definitive Text - EN 62047-11:2013
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
Definitive Text - EN 62047-11:2013
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
Definitive Text - EN 62047-11:2013
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
Definitive Text - EN 62047-18:2013
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 18: Méthodes d’essai de flexion des matériaux en couche mince
Definitive Text - EN 62047-19:2013
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques - Partie 19: Compas électroniques
Definitive Text - EN 62047-19:2013
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques - Partie 19: Compas électroniques
Definitive Text - EN 62047-6:2010
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince

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