Veröffentlichungszahl | Datum der Veröffentlichung | Überarbeitungsdatum | Ergebnisdatum | Technisches Komitee
| Laufendes Projekt |
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EN 62047-10:2011 (pr=23075) Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik | 2011-09-09 | | 2019-09-09 | CLC/SR 47F | |
EN 62047-12:2011 (pr=23076) Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen | 2011-10-21 | | 2019-10-21 | CLC/SR 47F | |
EN 62047-13:2012 (pr=23280) Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit bei MEMS-Strukturen | 2012-04-06 | | 2020-04-06 | CLC/SR 47F | |
EN 62047-14:2012 (pr=23220) Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe | 2012-04-06 | | 2020-04-06 | CLC/SR 47F | |
EN 62047-5:2011 (pr=22629) Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik -
Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter | 2011-08-19 | | 2019-08-19 | CLC/SR 47F | |
EN 62047-6:2010 (pr=21554) Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen | 2010-03-05 | | 2018-03-05 | CLC/SR 47F | |
EN 62047-7:2011 (pr=22658) Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 7: BAW-MEMS-Filter und -Duplexer zur Hochfrequenz-Regelung und -Auswahl | 2011-08-05 | | 2019-08-05 | CLC/SR 47F | |
EN 62047-8:2011 (pr=22628) Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten | 2011-05-06 | | 2019-05-06 | CLC/SR 47F | |
EN 62047-9:2011 (pr=22644) Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 9: Prüfverfahren zur Festigkeit von Full-Wafer-Bondverbindungen in der Mikrosystemtechnik (MEMS) | 2011-08-19 | | 2019-08-19 | CLC/SR 47F | |