CENELEC - Standards Development - Liste des Comités Techniques - CLC/SR 47F
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International Standards and Conformity Assessment for all electrical, electronic and related technologies

CLC/SR 47F

Systèmes microélectromécaniques
 
 
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CLC/SR 47F Programme de Travail

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FprEN 62047-11:2013 (pr=23953)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
5020  2011-12-212013-04-262013-06-28 
FprEN 62047-18:2013 (pr=24073)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 18: Méthodes d’essai de flexion des matériaux en couche mince
5020  2012-02-292013-04-262013-06-28 
FprEN 62047-19:2013 (pr=24006)
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques - Partie 19: Compas électroniques
5020  2012-01-252013-04-262013-06-28 
FprEN 62047-20:2013 (pr=24671)
 
5020  2013-01-152013-05-172013-09-06 
FprEN 62047-21:2013 (pr=24672)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21: Méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince
5020  2013-01-152013-04-052013-07-05 
FprEN 62047-22:2013 (pr=24695)
Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 22: Méthode d'essai de traction électromécanique pour les couches minces conductrices sur des substrats souples
5020  2013-01-232013-03-292013-07-05 

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CLC/SR 47F Publications

Référence, Titre
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Date de publication
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EN 62047-10:2011 (pr=23075)
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS		2011-09-09 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-12:2011 (pr=23076)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)		2011-10-21 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-13:2012 (pr=23280)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS		2012-04-06 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-14:2012 (pr=23220)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique		2012-04-06 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-5:2011 (pr=22629)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF		2011-08-19 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-6:2010 (pr=21554)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince		2010-03-05 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-7:2011 (pr=22658)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques		2011-08-05 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-8:2011 (pr=22628)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces		2011-05-06 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-9:2011 (pr=22644)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS		2011-08-19 export to doc file  EN  FR  DE

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CLC/SR 47F Cycle de maintenance

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Comité Technique
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Projet en cours
EN 62047-10:2011 (pr=23075)
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS		2011-09-09 2019-09-09CLC/SR 47F 
EN 62047-12:2011 (pr=23076)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)		2011-10-21 2019-10-21CLC/SR 47F 
EN 62047-13:2012 (pr=23280)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS		2012-04-06 2020-04-06CLC/SR 47F 
EN 62047-14:2012 (pr=23220)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique		2012-04-06 2020-04-06CLC/SR 47F 
EN 62047-5:2011 (pr=22629)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF		2011-08-19 2019-08-19CLC/SR 47F 
EN 62047-6:2010 (pr=21554)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince		2010-03-05 2018-03-05CLC/SR 47F 
EN 62047-7:2011 (pr=22658)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques		2011-08-05 2019-08-05CLC/SR 47F 
EN 62047-8:2011 (pr=22628)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces		2011-05-06 2019-05-06CLC/SR 47F 
EN 62047-9:2011 (pr=22644)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS		2011-08-19 2019-08-19CLC/SR 47F 

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CLC/SR 47F Résumé TC/SC

Étape actuelle
Year
Year -1
Year -2
Year -3
Year -4
Year >5
Approval stage600000
Published026100

CLC/SR 47F Figures overall

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 32
Published in last 3 years
 7
Total work in progress
 15
Total proposals
 0
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CLC/SR 47F Environnement

Reference
Clause
Categories - Aspects
Cycle de vie du produit
Information
Confirmé

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CLC/SR 47F Directive(s) EU

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Code d'étape
Directive
Statut JO
Référence JO
Mandat

 
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