CENELEC - Standards Development - Liste des Comités Techniques - CLC/SR 47F

CLC/SR 47F

Systèmes microélectromécaniques

 
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CLC/SR 47F Programme de Travail

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FprEN 62047-15:2014 (pr=25237)
 
5020  2013-12-182014-02-072014-05-09 
FprEN 62047-16:2014 (pr=25238)
 
5020  2013-12-182014-02-072014-05-09 
FprEN 62047-17:2013 (pr=25011)
 
5060  2013-08-192014-02-032014-02-24 
FprEN 62047-20:2014 (pr=24671)
 
5020  2013-01-152014-04-042014-06-06 
FprEN 62047-21:2014 (pr=24672)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21: Méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince
5020  2013-01-152014-03-142014-05-16 
FprEN 62047-22:2014 (pr=24695)
Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 22: Méthode d'essai de traction électromécanique pour les couches minces conductrices sur des substrats souples
5020  2013-01-232014-03-142014-05-16 

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CLC/SR 47F Publications

Référence, Titre
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Date de publication
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EN 62047-10:2011 (pr=23075)
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
2011-09-09 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-11:2013 (pr=23953)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
2013-09-27 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-12:2011 (pr=23076)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)
2011-10-21 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-13:2012 (pr=23280)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS
2012-04-06 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-14:2012 (pr=23220)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique
2012-04-06 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-18:2013 (pr=24073)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 18: Méthodes d’essai de flexion des matériaux en couche mince
2013-09-27 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-19:2013 (pr=24006)
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques - Partie 19: Compas électroniques
2013-09-27 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-5:2011 (pr=22629)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF
2011-08-19 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-6:2010 (pr=21554)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince
2010-03-05 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-7:2011 (pr=22658)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques
2011-08-05 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-8:2011 (pr=22628)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces
2011-05-06 export to doc file  EN  FR  DE
EN 62047-9:2011 (pr=22644)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS
2011-08-19 export to doc file  EN  FR  DE

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CLC/SR 47F Cycle de maintenance

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Comité Technique
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Projet en cours
EN 62047-10:2011 (pr=23075)
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
2011-09-09 2019-09-09CLC/SR 47F 
EN 62047-11:2013 (pr=23953)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
2013-09-27 2021-09-27CLC/SR 47F 
EN 62047-12:2011 (pr=23076)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)
2011-10-21 2019-10-21CLC/SR 47F 
EN 62047-13:2012 (pr=23280)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS
2012-04-06 2020-04-06CLC/SR 47F 
EN 62047-14:2012 (pr=23220)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique
2012-04-06 2020-04-06CLC/SR 47F 
EN 62047-18:2013 (pr=24073)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 18: Méthodes d’essai de flexion des matériaux en couche mince
2013-09-27 2021-09-27CLC/SR 47F 
EN 62047-19:2013 (pr=24006)
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques - Partie 19: Compas électroniques
2013-09-27 2021-09-27CLC/SR 47F 
EN 62047-5:2011 (pr=22629)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF
2011-08-19 2019-08-19CLC/SR 47F 
EN 62047-6:2010 (pr=21554)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince
2010-03-05 2018-03-05CLC/SR 47F 
EN 62047-7:2011 (pr=22658)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques
2011-08-05 2019-08-05CLC/SR 47F 
EN 62047-8:2011 (pr=22628)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces
2011-05-06 2019-05-06CLC/SR 47F 
EN 62047-9:2011 (pr=22644)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS
2011-08-19 2019-08-19CLC/SR 47F 

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CLC/SR 47F Résumé TC/SC

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Year -1
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Year -4
Year >5
Approval stage600000
Published032610

CLC/SR 47F Figures overall

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32
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7
Total work in progress
15
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CLC/SR 47F Environnement

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Confirmé

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CLC/SR 47F Directive(s) EU

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Mandat